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电子行业--GMS/GDS系统

为电子行业客户提供气体状态监视和供气控制,主要包括气体侦测器系统(GDS)、气体信息系统(GIS)

满足半导体、面板客户生产车间对气体供应设备供气状态的监视,如管路压力、阀门状态、报警和故障等;联动侦测器系统,当监控区域气体泄漏时对报警灯、门禁、广播、事故风机等进行联动,并启动连锁控制G/C、VMB、TOOL等的功能。

系统控制功能:

气柜状态监视,运行状态实时监控;

气柜供气控制,泄露时迅速关断气阀;

侦测器读值监视,可实现故障报警、预报警、一段报警、二段报警等多种监视;

多种联动系统,泄露时联动报警灯、门禁、广播、事故风机动作。

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